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根据所研制的光学显微检测系统,对准LIGA法加工的微零件内孔不规则边缘光学特征进行研究,提出了一种微零件内孔中毛刺识别的方法,将两种常用的测量圆的方法最小二乘拟合法和最大内接圆法进行比较,归纳出用图像处理技术测量微零件内孔的方法。实验结果证明,这种方法对微零件内孔的测量能够满足微装配的要求。