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设计了一种生产金刚石膜片的装置，每次可生产六片19～38cm<2>的金刚石膜片，该装置是由六个相同的真空室组成，既可同时工作又可单独工作，并可利用计算机进行自动控制。其中配有特殊的灯丝工装，保证停电时灯丝不断，工作时灯丝永远处于直线状态，任何人均可用该装置按特定的工艺生产金刚石膜片，工艺稳定，重复性好，成品率高。