【摘 要】
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采用X射线衍射方法与简单的筛分技术,对多晶硅切屑粉进行分析.结果表明,多晶硅切屑粉粒径分布主要在细粒级,其中-200目以下的粉末占79.18％;多晶硅切屑粉的物相组成简单,样品含
【机 构】
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南昌航空大学分析测试中心,江西南昌,330063
【出 处】
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第五届中西部地区理化检验学术年会暨实验室主任经验交流会
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采用X射线衍射方法与简单的筛分技术,对多晶硅切屑粉进行分析.结果表明,多晶硅切屑粉粒径分布主要在细粒级,其中-200目以下的粉末占79.18％;多晶硅切屑粉的物相组成简单,样品含有大量的非晶态物质,晶体相是硅(Si);多晶硅切屑粉含有45％的晶体硅,其余都是非晶态物质;分级后晶体硅的走向分布完全不同,在-60目+200目与-200目+300目这两个级别晶体硅的含量基本稳定在35％左右,其余三分之二都是非晶态,而在+60目级别,晶体硅的含量占了近三分之二了.
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