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该文介绍了一种智能化激光扫描荧光光谱检测仪，可对光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息，介绍了仪器对LED外延片进行在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测，给出相关参数。实现智能化检测。
LED外延片激光扫描荧光光谱检测仪
【摘 要】
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该文介绍了一种智能化激光扫描荧光光谱检测仪，可对光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息，介绍了仪器对LED外延片进行在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片
【机 构】
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清华大学现代应用物理系(北京)
【出 处】
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第七届全国LED产业研讨与学术会议
【发表日期】
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2000年期
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