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神经工程在揭示神经系统的工作机理以及神经疾病的治疗和康复等方面具有重要意义。微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口，它的性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果。本文提出了一种基于气相沉积Parylene薄膜的球形微电极阵列。通过光刻胶热熔冋流形成半球状凸起微电极，微电极阵列外部由Parylene包裹，具有较好的柔韧性和生物兼容性。对比平面电极，具有较低的阻抗。