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Spherical MgO Microparticle Deposition by RF Impulse Discharge with Small Coaxial Electrodes
【机 构】
：
Department of Electrical Engineering, Tohoku University,, Aza Aoba 6-6-05, Aramaki, Aoba, Sendal 980
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年期
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