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本文使用PROLITH、ProDATA、ProLE仿真软件，采用ArF 激光器（波长＝193nm）光源，针对100nm密集、半密集和孤立三种线条，对四极照明方式下，各种光学参数配置在空气中成像所能获得焦深进行了仿真分析。根据仿真的结果给出了优化配置参数的范围，比较了三种线条曝光时的光学成像质量。分析了优化配置参数条件下，波前误差对光学焦深、焦点偏移、图像位置误差的影响情况，仿真的结果可以为优化光学参数配置、公差分配提供参考依据。