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该文阐述了用于高速主轴的陶瓷球轴承的特性，介绍了一种新的高效、高精度陶瓷轴承球研磨加工方法及研磨加工装置，并对氧化铝、氧化锆和氮化硅陶瓷毛坯材料进行了对比加工试验研究，根据试验及试验结果着重分析了研磨工艺参数对研磨加工效率和加工质量的影响，找到了合理的高精度陶瓷轴承球的制造工艺参数，提出了保证高精度陶瓷球加工质量的技术措施。