高空间分辨率元素分布成像在调制结构中的应用

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hellolixing
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近年来兴起的能量过滤电子显微学是电子显微学中的一个非常突出和活跃的领域。元素分布成像则是能量过滤电子显微学的一个重要应用,它利用对应于某一特定元素内壳层电离能的非弹性散射电子成像,可以在较短的时间内和较大的面积内给出具有高空间分辨率的二维元素分布图。... In recent years, the rise of energy filtration electron microscopy is a very prominent and active field of electron microscopy. Elemental distribution imaging is an important application of EDF and utilizes inelastic scattering electron imaging corresponding to the ionization potential of the inner shell of a particular element to give a shorter period of time and a larger area Produce a two-dimensional elemental distribution with high spatial resolution. ...
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