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本文对表征SiGe/Si异质结材料特性的测量技术X-ray双晶衍射、反射高能电子衍射、Hall测量、二次离子质谱测量等进行了较为全面的介绍,为更好地了解、掌握和评价SiGe/Si材料特性提供一定帮助.
SiGe/Si材料特性表征技术
【摘 要】
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本文对表征SiGe/Si异质结材料特性的测量技术X-ray双晶衍射、反射高能电子衍射、Hall测量、二次离子质谱测量等进行了较为全面的介绍,为更好地了解、掌握和评价SiGe/Si材料特性提供一定帮助.
【机 构】
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信息产业部电子二十四所,模拟集成电路国家重点实验室(重庆)
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年6期
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