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（ＤＣＰＣＶＤ）法硬质合金基沉积ＴｉＮ薄膜结构特性的Ｘ射线研究
【机 构】
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广州有色金属研究院
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
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1994年期
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