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对作为显示面板主流技术的薄膜晶体管(TFT)的发展现状及IGZO薄膜的研究现状做了综述.对IGZO薄膜的制备方法、研究工作、优势及需要解决的问题进行了分析.并对比硅材料制备的薄膜晶体管阐述了IGZO薄膜晶体管的优势.
用于显示技术的TFT及其沟道层IGZO的研究现状
【摘 要】
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对作为显示面板主流技术的薄膜晶体管(TFT)的发展现状及IGZO薄膜的研究现状做了综述.对IGZO薄膜的制备方法、研究工作、优势及需要解决的问题进行了分析.并对比硅材料制备的
【机 构】
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北京科技大学冶金与生态工程学院,北京100083
【出 处】
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第九届冶金工程科学论坛
【发表日期】
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2010年期
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