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脉冲激光溅射法制备CuxSi1-x薄膜及其表征

来源 :第十九届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haivi2000

【作 者】

：

吴俊 章嵩 涂溶 史碛 张联盟 

【机 构】

：

武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室 日本东京工业大学物质理工学院

【出 处】

：

第十九届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2016年8期

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