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提出了一种基于尺蠖原理的S型直线压电电机,对电机结构及运行原理进行了分析.对电机的定子进行模态分析,同时分析单片定子的动态性能,并对实验结果进行评价.对设计的电机输出性能进行实验测试,实验测得该电机在驱动电压100V、驱动频率20Hz下,单步位移0.6μm、速度为25μm/s.实验结果表明该电机具有比较好的运动稳定性.