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采用织构化与薄膜沉积技术相结合的方法制备了织构化a-C∶H薄膜并研究了其在高真空环境下的摩擦学性能。系统考察了高真空环境下凹槽间距对织构化a-C∶H薄膜摩擦学性能的影响。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜(SEM)和三维形貌对薄膜结构及磨损表面进行了分析。
织构化a-C∶H薄膜高真空环境下摩擦学性能研究
【摘 要】
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采用织构化与薄膜沉积技术相结合的方法制备了织构化a-C∶H薄膜并研究了其在高真空环境下的摩擦学性能。系统考察了高真空环境下凹槽间距对织构化a-C∶H薄膜摩擦学性能的影响。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜(SEM)和三维形貌对薄膜结构及磨损表面进行了分析。
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,兰州 730000;中国科学院大学,北京100049
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
【发表日期】
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2015年4期
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会议
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会议