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具有聚集能力的、双层栅极场发射阵列是一种新型的高性能场发射阵列，是发展真空微电子微波、毫米波等器件的关键核心部件。但制备这种双层栅极的场发射阵列具有一些特殊性。本文主要介绍该制备过程中的问题，并利用微波等离子体电子回旋共振沉积工艺和磁控溅射沉积成膜技术等制备双栅极场发射阵列的简单情况 。
双栅极场发射阵列的研制
【摘 要】
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具有聚集能力的、双层栅极场发射阵列是一种新型的高性能场发射阵列，是发展真空微电子微波、毫米波等器件的关键核心部件。但制备这种双层栅极的场发射阵列具有一些特殊性。本
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
【发表日期】
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1999年期
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