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介绍了DPA的概念和作用,航天产品用空封半导体器件DPA的试验项目,型号用空封半导体器件DPA所发现的典型工艺质量问题的统计、现象及分析.
航天产品用空封半导体器件工艺质量问题统计结果与典型缺陷分析
【摘 要】
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介绍了DPA的概念和作用,航天产品用空封半导体器件DPA的试验项目,型号用空封半导体器件DPA所发现的典型工艺质量问题的统计、现象及分析.
【机 构】
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航天科工防御技术研究试验中心
【出 处】
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第四届中国航天质量论坛
【发表日期】
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2013年9期
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