【摘 要】
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本文采用磁控溅射法，在316不锈钢上制备Cr/WC/DLC多层梯度过渡类金刚石碳薄膜，利用场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、划痕测试仪等测试技术分析了薄膜的微观
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江宁波 315201
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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本文采用磁控溅射法，在316不锈钢上制备Cr/WC/DLC多层梯度过渡类金刚石碳薄膜，利用场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、划痕测试仪等测试技术分析了薄膜的微观结构和机械性能，利用UMT-3多功能摩擦磨损试验机考察其在大气、去离子水、发动机油三种环境下的摩擦学性能.结果显示：该DLC薄膜较高的sp3杂化键含量使其硬度高达32.6GPa.多层梯度过渡设计明显提高了薄膜与不锈钢基底间的结合力；摩擦诱导石墨化使薄膜在大气环境下表现出较低的摩擦系数和磨损率；水分子的侵蚀和氧化作用使薄膜呈现出了较强的水环境敏感性；而固-油复合润滑使薄膜在发动机油环境中表现出更低的磨损率且具有更稳定的摩擦学性能.
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