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高热导石墨衬底上的ZnO基MOS器件生长及表征

来源 :第13届全国发光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：junhao1987

【作 者】

：

边继明 张志坤 秦福文 章俞之 刘维峰 骆英民 杜国同 

【机 构】

：

大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁省大连市 116024;中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室,上海市 200050

【出 处】

：

第13届全国发光学学术会议

【发表日期】

：

2013年12期

【关键词】

：

石墨衬底 ZnO MOS器件 高热导 

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