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【摘 要】
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MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) are devices comprised of integrated mechanical,electrical and opti
【机 构】
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UniversityofArizona
【出 处】
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第七届微米纳米技术创新与产业化国际论坛(The 7th International Workshop on Innova
【发表日期】
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2013年10期
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