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本文介绍的是一种新型的基于硅片利用微机械加工工艺制作的压力、温度复合传感器.传感器的工作原理、理论分析以及加工工艺是文章主要介绍的内容.
一种新型压力、温度复合传感器的设计
【摘 要】
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本文介绍的是一种新型的基于硅片利用微机械加工工艺制作的压力、温度复合传感器.传感器的工作原理、理论分析以及加工工艺是文章主要介绍的内容.
【机 构】
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清华大学精仪系(北京)
【出 处】
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中国兵工学会第10届测试技术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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