论文部分内容阅读
微透镜阵列的形状和特征尺寸决定了其光学特性，对微光学透镜的三维结构特征尺寸进行精确快速的测量至关重要。从具有放大系统的Mach-Zehnder干涉仪获得的微透镜阵列的单帧干涉图，利用小波变换提取了微透镜阵列的三维形状和特征尺寸，测量结果与原子力显微镜测量结果非常吻合。该方法具有大测量范围、无损伤和快速的优点。