软刻蚀法制备微电极阵列自组装基元

来源 :国家自然科学基金委员会“可控自组装体系及其功能化”重大研究计划年度会议暨研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meishan802
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构筑规则排列的微电极阵是实现高灵敏、高通量和简便易行的分析方法之一,一直是分析化学及相关学科追求的目标,也是生命科学、能源环境、公共卫生和疾病诊断等领域对分析化学提出的要求.微电极阵列因为信噪比高、易于阵列化等优点,是满足以上要求的最主要途径之一,但是目前规则排列的微电极阵列因为制备步骤繁琐、所需仪器昂贵,因此方法难以普及.随着微电子技术和微加工技术的发展,为微电极阵列的构筑提供了新的机遇.其中软刻蚀是一类微纳米加工技术的总称,包括微接触印刷、毛细微模塑、微转移模板、纳米转移印刷术等.
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