用计算机实现光学镀膜的自动控制并提高膜厚极质点的监控精度

来源 :全国光学薄膜技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guizhuyijie

【作者】

：

杨启纲牛自强龙建国

【机构】

：

四川大学

【出处】

：

全国光学薄膜技术交流会

【发表日期】

：

1986年期

【关键词】

：

计算机光学镀膜自动控制膜厚质点监控

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