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用微波等离子体化学气相沉积设备，在陶瓷/金属钼薄膜衬底上沉积出了氮掺杂非品碳膜，分别用扫描电子显微镜（SEM），金相显微镜及Raman谱对样品进行了分析测试，并研究了不同掺杂样品的场致电子发射特性。结果表明：在我们的实验范围内，随着氮掺杂量的增加，发射电流密度增大。
氮掺杂量对非晶碳膜场致电子发射的影响
【摘 要】
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用微波等离子体化学气相沉积设备，在陶瓷/金属钼薄膜衬底上沉积出了氮掺杂非品碳膜，分别用扫描电子显微镜（SEM），金相显微镜及Raman谱对样品进行了分析测试，并研究了不同掺杂样品的
【机 构】
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郑州大学物理工程学院（郑州）
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
【发表日期】
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1999年期
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