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研发了自由曲面SiC 反射镜的超声振动辅助铣磨、小磨头研磨(CCOS)及计算全息(CGH)检测技术。提出了自由曲面反射镜五轴联动斜轴定角度铣磨加工方法，建立了旋转中心在镜面外的螺旋加工轨迹，并通过砂轮轴线方向控制实现了三维斜角磨削方式，构建了基于DMG Ultrasonic 100-5 五轴加工中心的超声振动辅助铣磨加工平台，缓解了SiC 材料高硬度特性导致的砂轮磨损严重问题；铣磨加工后，采用基于CCOS 的加工策略，开展了自由曲面数控研磨和抛光；设计了CGH 补偿器，同时具有光路对准、提供定位精准等多项功能，解决了零位透镜补偿器缺少定位基准以及光路调整的难题，并得到了很好的检测结果。