硅团簇束流淀积的分形生长

来源 :第九届全国原子与分子物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yong1123
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利用低能中性团簇束流淀积(LECBD)方法制备硅团簇薄膜,观察到Si团簇特殊的分形生长现象,并对此非平衡动力学过程作初步的探讨。
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