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随着集成电路多层布线技术和铜互连技术的应用,CMP技术以应用的越来越普遍.而CMP机器是必须的设备,并且国外的机器很贵,为了进行有关方面的研究,我们自行研制了能满足实验研究的CMP机器,在大专院校和研究所应能得到广泛的应用.
实验用CMP机器的研制
【摘 要】
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随着集成电路多层布线技术和铜互连技术的应用,CMP技术以应用的越来越普遍.而CMP机器是必须的设备,并且国外的机器很贵,为了进行有关方面的研究,我们自行研制了能满足实验研
【机 构】
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中国科学院微电子中心(北京)
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年4期
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