【摘 要】
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金反射膜是许多光学器件和光学实验中的关键薄膜元件，其破坏阈值的高低直接影响到器件的运转和实验的顺利进行。因而，研究激光作用下材料的破坏阈值很有必要。实验利用800nm飞秒激光对金膜进行了表面烧蚀研究，用光学显微镜测量了不同脉宽（45~800fs）下材料的烧蚀斑面积，并由此计算出材料的烧蚀阈值。结果发现，金膜在飞秒激光作用下的烧蚀形貌表现为孔洞，没有明显的熔化痕迹，与长脉冲激光烧蚀的形貌不同。金膜的
【机 构】
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中科院上海光学精密机械研究所强光光学实验室,上海201800
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金反射膜是许多光学器件和光学实验中的关键薄膜元件，其破坏阈值的高低直接影响到器件的运转和实验的顺利进行。因而，研究激光作用下材料的破坏阈值很有必要。实验利用800nm飞秒激光对金膜进行了表面烧蚀研究，用光学显微镜测量了不同脉宽（45~800fs）下材料的烧蚀斑面积，并由此计算出材料的烧蚀阈值。结果发现，金膜在飞秒激光作用下的烧蚀形貌表现为孔洞，没有明显的熔化痕迹，与长脉冲激光烧蚀的形貌不同。金膜的烧蚀阈值很低，大约在0.15J/cm2左右，比1053nm 皮秒（100ps）激光作用下的烧蚀阈值低3.3 倍，且与脉宽（45～800fs）的依赖型不强。
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