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氢同位素质谱分析是一种利用质谱计实现荷/质比分离,用来测定氢、氘和氚混合气体中各组分同位素丰度的方法.氢同位素的质谱分析数据准确与否对轻核材料的生产和使用,对氚工艺技术的研究和发展有十分重要的意义.通过质谱计优化参数、灵敏度线性测定、离解系数测定及漏率因子计算等方法，解决含氚氢同位素气体中氦-3测量、同位素分馏效应校正等氢同位素气体质谱分析难点。通过离解系数测定及漏率因子计算等方法，解决了含氚氢同位素气体中氦-3测量、同位素分馏效应校正等氢同位素气体质谱分析难点。研究结果表明，应用高分辨气体同位素质谱计分析含量较复杂的含氚氢同位素气体，具有误差来源简单，误差小的优点，该方法氖含量测量结果的相对标准偏差小于0.5％。