基于MEMS技术微型质子交换膜燃料电池

• 作 者: 王涛 陈聪 李巨峰 张熙贵 夏保佳 李昕欣
• 机 构: 国家传感技术联合实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
• 出 处: 第二十六届全国化学与物理电源学术年会
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 技术 微型 燃料电池 有机粘结剂 半导体单晶 综合测试 制作工艺 系统测试 体积 金属引线 电池性能 自呼吸 氧化剂 负电极 组装 氧气 氢气 面积 密封 空气

本文采用MEMS制作工艺在半导体单晶Si上制作一种μPEMFC,该电池正负电极的活性面积均为1cm<2>,采用Nafion112作隔膜,组装成的电池体积约为2ml(不包括氢源).电池工作时以氢气做燃料、以"自呼吸"方式直接从空气中获得氧气作氧化剂,极大地减小了燃料电池的体积.电池边缘四周用有机粘结剂粘结、密封.分别在正、负极上焊接金属引线,用Arbin FCTs(Arbin Instrument Inc.)燃料电池综合测试系统测试电池性能.