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中压配电系统中真空断路器广泛应用于投切电容器组。关合过程中会产生高频率涌流，其预击穿电弧会烧蚀触头表面并使触头发生熔焊；开断电容器组时，开断电流只有几百A，但是熔焊区会形成微突起甚至于破裂，触头两端会承受容性恢复电压Um(1-cos ωt)，其峰值会达到2倍系统电压Um(开断单相电容器组)，这使真空断路器弧后偶尔会发生重击穿，甚至于开断电流过零几百ms后会发生延时重击穿现象。其原因与投切过程产生的高频涌流，开断电流，恢复电压密切相关。目前对击穿机理主要有两种解释：场致发射引发重击穿和微粒导致重击穿。