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利用热丝辅助射频溅射法在Ｓｉ（１００）衬底上生长了ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜，俄歇能谱（ＡＥＳ）测得薄膜中氮的含量为２１℅，红外吸收谱和拉曼谱呈现Ｃ≡Ｎ，Ｃ＝Ｎ和Ｃ－Ｎ的吸收峰，Ｘ光衍射分析表明薄膜结构为非晶和微晶的的混和相。
热丝辅助射频溅射法制备CN<,X>薄膜
【摘 要】
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利用热丝辅助射频溅射法在Ｓｉ（１００）衬底上生长了ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜，俄歇能谱（ＡＥＳ）测得薄膜中氮的含量为２１℅，红外吸收谱和拉曼谱呈现Ｃ≡Ｎ，Ｃ＝Ｎ和Ｃ－Ｎ的吸收峰，Ｘ光衍射分析表明薄膜结构为非晶和微晶的的混和相。
【机 构】
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大学物理系
【出 处】
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'96中国材料研讨会
【发表日期】
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1996年期
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