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热激电流(TSC)测量系统及应用
热激电流(TSC)测量系统及应用
来源 :中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wpf82011
【摘 要】
:
介绍热激电流测试方法,并用该方法测量了SI-GaAs材料的TSC特征谱图。同时对SI-GaAs的深能级中心的行为进行了初步的分析。
【作 者】
:
郑庆瑜
王良
孙毅之
【机 构】
:
产业部电子第四十六研究所
【出 处】
:
中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会
【发表日期】
:
1999年12期
【关键词】
:
热激电流
SI-GaAs
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介绍热激电流测试方法,并用该方法测量了SI-GaAs材料的TSC特征谱图。同时对SI-GaAs的深能级中心的行为进行了初步的分析。
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