【摘 要】
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提出了3种步距规校准的新方法。应用光切显微镜及白光干涉的测量原理实现步距规工作面的精确定位,结合中国计量科学研究院新研制的2m比长仪的机械性能和高精度的测长系统实现
【机 构】
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中国计量科学研究院长度所,北京100013
【出 处】
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2012年全国几何量精密测量技术学术交流会
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提出了3种步距规校准的新方法。应用光切显微镜及白光干涉的测量原理实现步距规工作面的精确定位,结合中国计量科学研究院新研制的2m比长仪的机械性能和高精度的测长系统实现步距规的校准。给出了初步实验结果,并进行了方案探讨。采用光斑定位的方法步距规移动分辨率可达到0.02 mm,被测表面定位重复性优于0.05μm。
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