【摘 要】
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本研究探讨应用差分干涉对比(Differential Interference Contrast,DIC)显微技术于三维形貌量测的可行性。差分干涉对比(DIC)显微技术原为一影像强化技术；惯用于强化透明物件与背景之差异。但检视其原理,应可用于透明物件的三维形貌的量测上。原本用于影像强化时,利用积分将差分相位还原时,针算精确度的要求并不高。但用于三维形貌量测时,如何降低杂讯对积分的影响便变得非常重要
【机 构】
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國立清華大學動力機械工程學系 工業技術研究院量測技術與發展中心
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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本研究探讨应用差分干涉对比(Differential Interference Contrast,DIC)显微技术于三维形貌量测的可行性。差分干涉对比(DIC)显微技术原为一影像强化技术；惯用于强化透明物件与背景之差异。但检视其原理,应可用于透明物件的三维形貌的量测上。原本用于影像强化时,利用积分将差分相位还原时,针算精确度的要求并不高。但用于三维形貌量测时,如何降低杂讯对积分的影响便变得非常重要。在本研究针对定量化的还原相位演算法,提出修正型傅立叶相位积分(Modified Fourier Phase Integration,MFPI)重建演算法可以有效的降低杂讯的影响。并架设硬体量测实验,验证所提出的重建法,建构出能够量测透明材质待测物表面三维形貌的量测平台。
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