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本文对一种基于IGBT开关的紧凑式磁压缩高频脉冲电源进行了分析和实验研究，给出了电路的关键元件选取和参数设计原则。着重分析了二级磁压缩网络中磁开关及其复位电路的设计原理。实验结果表明：所研制的高频脉冲放电电路可产生上升时间220ns、幅值1.1kV、重复频率为5kHz 的亚微秒高压脉冲。放电波形控制准确，重复性好。该电源设计利用液相放电产生的等离子体进行金属材料表面改性的实验研究。