【摘 要】
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压电薄膜体声波谐振器是由上下两层电极中夹着一层压电薄膜构成的,由于各层材料性质的不同,在制作过程中,势必会产生初应力,对其振动过程产生影响.本文主要讨论了初应力对带
【机 构】
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宁波大学机械工程与力学学院,浙江宁波
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压电薄膜体声波谐振器是由上下两层电极中夹着一层压电薄膜构成的,由于各层材料性质的不同,在制作过程中,势必会产生初应力,对其振动过程产生影响.本文主要讨论了初应力对带有电极的压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸振动模态谐振特性的影响.首先利用含初应力的压电材料的压电弹性基本方程,推导出正弦电压作用下含初应力的压电薄膜体声波谐振器振动方程.结合具体算例,给出了初应力作用下包含电极的理想压电薄膜体声波谐振器的阻抗特性,以及初应力变化对其谐振频率、带宽及有效机电耦合系数的影响曲线.同时,给出了电极厚度变化对不同初应力作用下的FBAR谐振频率的影响曲线.
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