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<正>GaN基HEMT材料在高温、高频、大功率器件中有广泛的应用前景和重要的经济和社会价值。特别是外延生长在半绝缘SiC衬底上的GaN基微波材料和器件更是军事应用的首选。由于GaN基微
不同来源的SiC衬底上外延GaN材料的特征
【摘 要】
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<正>GaN基HEMT材料在高温、高频、大功率器件中有广泛的应用前景和重要的经济和社会价值。特别是外延生长在半绝缘SiC衬底上的GaN基微波材料和器件更是军事应用的首选。由于G
【机 构】
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北京凝聚态物理国家实验室中科院物理所;
【发表日期】
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2004年期
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