论文部分内容阅读
钛酸钡薄膜是一种典型的铁电薄膜材料.采用溶胶撇法分别制备掺钢1%和10%的BTO薄膜.X射线衍射图表明两种薄膜都具有钙钛矿结构.介电性能测试结果表明,随着频率升高,两种BTO薄膜的电容均逐渐减小,而损耗均先减小,再在10 kHZ附近开始逐渐增大:在较低频段,掺杂10%的B1D薄膜的电容较大,在100 kHZ附近两种薄膜的电容大小相等;在500 HZ以下两种薄膜的损耗大小相等,而在较高频段掺杂10%的BTO薄膜的损耗较大.