【摘 要】
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针对纳米振动测量中电学方法和光学方法的间接测量、分辨率低，以及带宽低的局限性，本文采用原子力显微镜(AFM)的动态模式测量纳米梁谐振器的离面机械振动特性。AFM典型的动态模式包括轻敲模式和轻敲力曲线模式，本文分别对AFM的上述两种动态测振模式建立了物理模型，采用Runge.Kutta数值方法计算了AFM微悬臂梁探针对样品离面振动的机械动态响应，并以此为前提分析和讨论了AFM测振技术的可行性和工作带
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津，300072 北京大学微电子学研究所，北京，100
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
论文部分内容阅读
针对纳米振动测量中电学方法和光学方法的间接测量、分辨率低，以及带宽低的局限性，本文采用原子力显微镜(AFM)的动态模式测量纳米梁谐振器的离面机械振动特性。AFM典型的动态模式包括轻敲模式和轻敲力曲线模式，本文分别对AFM的上述两种动态测振模式建立了物理模型，采用Runge.Kutta数值方法计算了AFM微悬臂梁探针对样品离面振动的机械动态响应，并以此为前提分析和讨论了AFM测振技术的可行性和工作带宽。
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