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采用全封闭非平衡磁控溅射技术制备Graphit-iC和Dymon-iC薄膜。使用TEM、SEM、XRD、AFM、纳米压入、高温摩擦磨损试验机等研究了薄膜的微观结构、表面形貌、硬度及摩擦磨损性能。结果显示，两类薄膜均由大量非晶和少量纳米晶组成，薄膜均匀、致密，粗糙度小；Graphit-ic的纳米压入硬度低于Dymon-ic；同时，干摩擦条件下，两类薄膜均显示出良好的耐磨减摩性能，前者的摩擦系数较低，但其比磨损率较高。