切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
氮杂质对缀铁硅单晶氧沉淀的影响
氮杂质对缀铁硅单晶氧沉淀的影响
来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:beautyfox110
【摘 要】
:
研究了掺铁硅单晶的氧沉淀行为,发现氮杂质对其的抑制作用,提出氮以Fe-N络合物形式阻断了氧沉淀的异质核心硅化铁的形成,进而间接抑制氧沉淀的观点。
【作 者】
:
张溪文
杨德仁
【机 构】
:
大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)
【出 处】
:
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
杂质对
硅单晶
氧沉淀
抑制作用
异质核心
络合物
行为
硅化
掺铁
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究了掺铁硅单晶的氧沉淀行为,发现氮杂质对其的抑制作用,提出氮以Fe-N络合物形式阻断了氧沉淀的异质核心硅化铁的形成,进而间接抑制氧沉淀的观点。
其他文献
量子英雄榜
期刊
光透法测定粉末分布的原理和实践
会议
光透法
测定
粉末
分布
原理
超径颗粒粒度效应对基底材料力学特性的影响
会议
超径颗粒
粒度效应
基底材料
力学特性
流化风速、床料量、粒径及其分布对扬析率的影响
在300mm×400mm×5.5mm的冷态实验台上,对窄筛分颗粒的提升段内压力分布、粗细粒细间相互作用等进行了研究。以确定流化风速、颗粒大小、床料量以及颗粒间相互作用对扬析率的
会议
颗粒分布
悬浮密度
相互作用
扬析率
循环流化床锅炉
德兴铜矿铁谱技术的应用研究
会议
德兴铜矿
铁谱技术
“电利牌”飘灰性能与应用简介
会议
离心沉降法粒度及粒度分布测试条件的探索
会议
离心沉降法
粒度分布
颗粒锆石的U-Pb定年方法研究
该文描述了颗粒锆石的U-Pb定年的方法流程,并对影响本底的各种因素、锆石的清洗、装样过程及质谱测定中同位素分馏效应进行了讨论,最后两个样品的成功测定,说明了该方法流程是可靠的
会议
颗粒锆石
定年
同位素分馏效应
质谱测定
流程
方法
样品
清洗
描述
亲历中华全国供销合作总社的三件大事
20世纪80年代初到本世纪初,我主要是从事中国合作社历史研究工作,和几位老同志一起收集了1万多份、近4亿字的历史资料;出版了10多本、共1000多万字的史料书,填补了中国合作社历史的空白,为合作社事业做了一点事情,深感欣慰。这期间,我亲历了三件对我影响大,记忆深刻的大事:一是参与编辑出版《刘少奇论合作社经济》一书;二是见证中华全国供销合作总社加入国际合作社联盟;三是恢复全国供销合作总社。 出版《
期刊
国际合作社联盟
供销合作社
三件
论合作社
历史资料
合作社组织
万字
理事会主任
文字修改
中央委员会
仓底仓壁颗粒压力的散体元计算
会议
仓底
仓壁
颗粒压力
其他学术论文