【摘 要】
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制造技术现在可分爲两大类,传统制造技术和纳米组装制造技术,前者"由大到小",后者"由小到大".两者中只要工件尺寸或精度达到纳米尺度,观察和计量问题均没有很好解决.因此开拓
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制造技术现在可分爲两大类,传统制造技术和纳米组装制造技术,前者"由大到小",后者"由小到大".两者中只要工件尺寸或精度达到纳米尺度,观察和计量问题均没有很好解决.因此开拓纳米光学技术研究是十分重要的事.本校物理系自1991年以来一直致力于纳米光学技术开发研究,93年我们研制成功我国第一台纳米分辨的光子扫描隧道显微镜,最近研制成功"原子力/光子扫描隧道显微镜",该仪器是有自己知识産权的新一代光子扫描隧道显微镜,它不仅可消除因様品表面起伏引入假像,而且可在同一次扫描中获得分解的様品折射率图像、透过率图像和原子力形貌图像,共三幅图像,其性能在同类仪器中已达国内外领先水平.
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