【摘 要】
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全铝背场因其简单低廉的特性而在常规太阳能电池中得到了广泛的应用,但铝推进形成的结表面存在大量的金字塔状的表面结构,导致了严重的表面复合,表面复合速率＞600cm/s.另外大
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京100029
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全铝背场因其简单低廉的特性而在常规太阳能电池中得到了广泛的应用,但铝推进形成的结表面存在大量的金字塔状的表面结构,导致了严重的表面复合,表面复合速率＞600cm/s.另外大量的铝掺杂原子未激活而形成复合中心,从而导致结内部复合的增加.为此,采用介质膜对背面进行更好的钝化、背面局部形成电极接触来取代常规的全铝背场结构,从而产生了具有优良长波响应的PERC电池.然而,现行的PERC电池的背面局部接触的形成是依靠光刻、激光刻蚀或者腐蚀浆料对介质膜局部腐蚀开窗口而实现,这些方法存在着成本高、导致损伤和污染等缺点.为此,本文提出并制备了一种新的烧穿型背面点接触太阳能电池(Firing-through,PERC),通过银铝浆浆料烧穿SiNx薄膜形成背面局部接触.烧穿型PERC电池的串联电阻值达到6.59m Ω,而相应的全铝背场常规太阳能电池的串联电阻为6.4mΩ,表明浆料烧穿形成点接触的方法切实可行.然而,实验发现在烧穿型PERC电池中存在严重的漏电,漏电的存在大幅降低了电池的开路电压、短路电流.分析表明,漏电流产生的原因在于SiNx薄膜中的正电荷在硅表面诱导产生的结与背面点接触电极之间形成了电流的通道.文中提出了去除诱导结的方法,并对更高效率的烧穿型PERC电池的优化方案进行了评估.
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