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石墨的表面缺陷和体缺陷影响着其物理和化学性质，因此研究如何检测和控制这些缺陷对石墨材料的应用是很重要的。我们小组开发了一种基于氢等离子体的各向异性刻蚀技术。
石墨材料的缺陷检测与修复
【摘 要】
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石墨的表面缺陷和体缺陷影响着其物理和化学性质，因此研究如何检测和控制这些缺陷对石墨材料的应用是很重要的。我们小组开发了一种基于氢等离子体的各向异性刻蚀技术。
【机 构】
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中国科学院物理研究所,纳米材料与器件实验室N07组,100190
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
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2013年11期
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