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介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明，该方法能够达到较高的准确度和精密度。
六氟化钨中杂质含量的测定
【摘 要】
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介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法
【作 者】
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【机 构】
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The 718th Research Institute of CSIC,Handan 056027,China
【出 处】
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全国特种气体第十六次年会
【发表日期】
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2012年期
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