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该文采用SOI/CMOS工艺成功地研制出沟道长度为0.8μm的SOI器件和环振电路,在5V和3V电源电压时51级环振的单门延迟时间分别为82ps和281ps,速度明显高于相应的体硅电路。由于采用硅岛边缘注入技术,寄生边缘管得到较好的抑制。文中同时对沟道宽度对SOI器件特性的影响给予了讨论。实验表明SOI器件是高速和低功耗电路的理想选择。