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基于MEMS工艺制备了二维光子晶体调制的窄带红外发射源,并进行了发射性能测试。采用SOI衬底和湿法各向异性腐蚀工艺,制作大面积热隔离结构,测试结构验证了窄带红外光源的可行性。
MEMS窄带红外发射源
【摘 要】
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基于MEMS工艺制备了二维光子晶体调制的窄带红外发射源,并进行了发射性能测试。采用SOI衬底和湿法各向异性腐蚀工艺,制作大面积热隔离结构,测试结构验证了窄带红外光源的可行
【机 构】
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武汉光电国家实验室;
【发表日期】
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2004年期
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