一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法

• 作 者: 路秀琴 倪嵋楠 孔福全 韩建伟 刘建成 郭继宇 张庆祥 黄治 张振龙 郭刚 沈东军 惠宁
• 机 构: 中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100080
• 出 处: 第十次全国核结构研讨会
• 发表日期: 2004年7期
• 关键词: 单粒子效应 灵敏体积 重离子辐照 微电子器件

本文介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(Sv)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件,测量其SEU截面随离子射程的变化曲线σseu(r),用数学计算从σseu(r)和LET(r)函数提取d.利用测得的d和σseu(LET),经过模型计算可得到更精确的空间SEU率的预言值。